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主動隔振平臺集合了多種*技術
更新時間:2020-01-16   點擊次數:1474次
   主動隔振平臺設計用于承載所有商業掃描電子顯微鏡(SEMs)、多數聚焦離子束顯微鏡(FIB)及小型雙光束設備。SEM-Base VI可以提供升級版的振動隔離性能及更快更強勁的控制器,帶有高級圖形用戶界面(GUI)。SEM-Base VI讓越來越多的實驗室、工廠可以實現能夠滿足其關鍵設備所要求的地面振動水平。
  主動隔振平臺采用*串聯結構,振動傳感器測量的是地面振動,不是負載振動。這樣就確保了負載諧振將不會限制平臺的振動隔離或者引起不穩定性。振動傳感器采用低頻慣性速度傳感器,在測量亞Hz振動時具有大的敏感度。加上TMC*的壓電致動技術,SEM-Base VI即使在振動情況已經很好的地面上也可以實現超高水平的振動消除。
  相比于之前的SEM-Base版本,SEM-Base VI的振動隔離能力平均來說增加了6dB,而且采用了TMC新一代控制器DC-2020,采用新式雙核處理器,為設備擁有者及研究者提供非常簡單易于使用的圖形用戶界面,可以快速進入系統并實現平和的操作心態。當通過Ethernet連接時,DC-2020在用戶的瀏覽器上即可實現SEM-Base圖形用戶界面,無需額外安裝軟件或者應用程序。當然用戶也可以通過控制器的板載式菜單驅動液晶屏(LCD)直接進行控制。
  1、主動慣性振動消除:采用高靈敏度的低頻慣性速度傳感器,即使在安靜的地面上也可以達到高水平的振動衰減。
  2、硬式裝載技術:兼容 SEM 內部預裝的任何隔振系統, 從 0.6Hz 開始主動強力消減地面低頻振動。
  3、*集成式的單平臺設計:設計與制造的集成化,將安裝平臺的工作簡化到了,簡單的定位與設置之后即可正常工作。
  4、串行設計與壓電技術:*串行設計加上高強度壓電專利技術,SEM-Base VI不但達到了寬至0.6Hz-150Hz的主動帶寬,更實現了的慣性主動振動消除,2Hz以上的振動衰減可達90%以上。
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