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TMC CleanTop光學平臺研究級784系列 提供*的光學頂部性能。研究級系列具有業內*性能,它結合了zui小的單元尺寸、zui高的芯密度、*的CleanTop®設計、全鋼結構以及市場上zui高水平的結構阻尼。 研究級CleanTop適用于苛刻的應用,包括干涉儀、全息和超快激光器以及zui嚴重的地面振動環境
TMC 光學平臺Everstill主動臺式隔振器 主動消振技術。適用于小巧輕便的超精密儀器 主動硬安裝。無空氣。強大的即插即用設計 *的振動傳感器技術。采用亞赫茲性能的集成檢波器類型的速度傳感器。比加速計具有更好的低頻靈敏度。 Gainmatch™可優化性能。開關允許用戶輕松選擇3種增益設置。這確保了 da程度的消振性能以及不同用戶環境的穩定性。
TMC784系列研究等級光學平臺性能上是工業中的。它具有TMC*的CleanTop設計:小的核心尺寸,高的核心密度設計,全鋼結構以及商用高等級結構阻尼。研究等級的CleanTop在要求很嚴苛的領域如干涉儀、全息術,和超快激光技術,以及嚴重的地板振動環境中都被推薦使用。將STACIS® iX 支腿或混合空氣/壓電平臺振動消除系統和此平臺結合使用,可以形成好的整體振動控制。
STACIS®III主動隔振系統主動光學平臺。采用*的慣性振動傳感器,復雜的控制算法,和*的壓電致動器。STACIS通過連續測量地板活動、擴大和收縮壓電致動器過濾地板振動來進行實時隔離振動。 初被設計用于*半導體工廠的精密顯微光刻、計量和檢測設備的隔振,STACIS現在是嘈雜環境中敏感儀器的行業標準解決方案,包括但不局限于半導體晶圓廠、失效分析實驗室、納米技術研究、納米加工設備
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